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暗场检测
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2007-06-27 KLA-Tencor 推出最新 Puma 9150 检测系统
KLA-Tencor推出其在带图形晶片暗场检测技术领域的最新产品 — Puma 9150 系统。该系统采用新的光学模式,可在 45 纳米及以下生产应用中捕获更广泛的成品率相关缺陷。
2006-09-29 KLA-Tencor新型Puma91xx暗场图样晶片检测系统提供两倍的生产能力
KLA-Tencor推出了 Puma 91xx 暗场图样晶片检测系统 — 其广受青睐的 Puma 产品系列的最新成员。旨在以最低的拥有成本 (CoO) 捕获最广泛的关键缺陷类型,Puma 91xx 系列能够以相等或更高的灵敏度提供接近两倍于前一代 Puma 9000 系列的生产能力 — 这使它成为 65 纳米和 45 纳米节点暗场检测的性能王者。多套 Puma 91xx 系列系统已经运往世界各地的领先逻辑、DRAM和闪存代工厂,用于生产过程中的先进制成设备和线上产品监控应用。KLA-Tencor 当前已安装的 Puma 9000 系统可以现场升级到 91xx 系列性能水平。
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