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2010-02-11 (多图) 一种新型高量程微加速度传感器侵彻测试
高量程微机械压阻式加速度传感器在冲击测试、军用引信中运用相当广泛。可靠性研究是微电子机械系统 MEMS产业化的关键,对于微加速度传感器更是如此。由于应用环境的特殊性,高量程微加速度传感器必须具有极高的抗过载能力。
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