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四线隔离探针
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2008-10-01 (多图) 半导体电阻率的多种测量方法应用与注意事项
依据掺杂水平的不同,半导体材料可能有很高的电阻率。有几种因素可能会使测量这些材料电阻率的工作复杂化,其中包括与材料实现良好接触的问题。已经设计出专门的探头来测量半导体晶圆片和半导体棒的电阻率。这些探头通常使用硬金属,如钨来制作,并将其磨成一个探针。在这种情况下接触电阻非常高,应当使用四点同线(collinear)探针或者四线隔离探针。其中两个探针提供恒定的电流,另外两个探针测量一部分样品上的电压降。利用被测电阻的几何尺寸因素,就可以计算出电阻率。
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