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硅压力传感器
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2011-09-20 (多图) 基于CAV424的电容式压力传感器测量电路设计
随着差动式电容传感器广泛应用于各行各业中, 对差动电容信号的检测至关重要。文中提出基于CAV424电容检测芯片作为前置检测单元, 实现了电容压力传感器测量电路。该电路具有稳定性好, 抗干扰性强, 且通过非线性补偿有良好的线性。实验结果表明, 实际电路与理论分析具有良好的一致性。
2011-04-28 敏芯微电子成功研发MEMS制程SENSA工艺
苏州敏芯微电子成功研发面向 MEMS 微硅传感器制程的 SENSA 工艺。敏芯目前已经将此工艺应用于公司生产的微硅压力传感芯片 MSP 系列产品中。此项关键核心技术的突破,将为国内以至全球的微压力传感器行业带来深刻变革。
2010-02-24 2009年MEMS惯性传感器现状及2010年趋势
MEMS技术最早由Richard Pfeynman(1965年获得诺贝尔物理奖),在1959年提出设想。1962年微型压力传感器问世。
2010-01-20 (多图) 基于MPX2100型压力传感器的高精度数据采集系统
在压力的测量与分析中,通常压力值的变化速度不快,但要求测量精度很高。本文介绍了一种基于MPX2100型压力传感器的高精度压力数据采集系统,给出了 X型压力传感器MPX2100以及A/D转换核心部件ICL7135各自的性能特点及其相关接口电路;提供了系统的组成框图、各主要部分电路图及A/D 转换软件设计流程图。
2009-07-17 (多图) 基于系统级封装技术的车用压力传感器
本文在对扩散压力传感器的工作原理和传统封装形式分析的基础上,在压力传感器的设计中借鉴系统级封装的基本思想,将扩散硅压力敏感芯片及其相应的驱动放大电路等附属电路系统集成在一块特殊设计的印刷电路板上,再运用专门设计的MEMS系统级封装工艺将其封装在一个金属壳体中,形成完整的压力传感器。
2008-04-24 我国抗2000℃超高温冲击压力传感器研制成功
一种可抗2000℃瞬时超高温冲击的隔离耐高温压力传感器日前在西安交大精密工程研究所研制成功。专家认为,这一国家“863”计划项目的完成,将有效解决我国航空航天、石油化工、汽车工业等领域高温环境下压力测量和瞬时高温冲击下传感器失效的技术难题,打破了国外同类产品对我国传感器市场的垄断,提升了我国这一行业的整体水平和国际竞争能力,具有很高的推广和使用价值。常规的硅压力传感器只能在120℃以下进行压力测量,超过120℃时,传感器的性能会严重恶化以至失效。
2007-11-29 测量压电式微压传感器灵敏度的新方法
研制了一套压电微压传感器的性能测量系统,它采用均匀声腔油介质中传播的声波作为压力源,标准传感器和被测传感器同时接收波动声压,比较两传感器的输出,测定被测传感器的灵敏度及频响。实验测试了3只压电式微压传感器,结果表明:传感器的灵敏度平均为3.0mV/Pa,工作频率为20~2000Hz,灵敏度随频率波动小于0.5mV/Pa,灵敏度重复偏差小于0.24mV/Pa。
2006-08-31 (多图) 比例电压转换接口电路AM417的原理及应用
AM417是德国Analog Microelectronics公司开发的一个用于处理可变电桥信号的低成本比例电压转换接口集成电路,该电路的输出信号可以成比例地自动跟踪电源电压的变化,这点对于共用一组电源的控制系统来说非常有用。因此,这种电路对于处理来自诸如压力传感器的差分输出信号十分理想。
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