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闭环MEMS
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| 2013-11-07 | (多图) 基于闭环MEMS的电容式惯性传感器设计 一般来说，微型传感器可以是压电式、压阻式或电容式传感器。然而，电容式传感的高热稳定性和高灵敏度使得它对种类广泛的应用来说更具吸引力。本文主要介绍基于闭环MEMS的电容式惯性传感器设计。 |
| 2011-12-30 | (多图) 一种单轴MEMS陀螺仪信号处理电路设计 以MEMS陀螺仪传感器为基础，设计了一种闭环驱动开环检测的单轴MEMS陀螺仪信号处理电路。采用时域分析方法，对MEMS陀螺仪闭环驱动环路进行了稳定性分析，并提出了一种对等效电容共模部分不敏感的CV转换结构。结果显示，线性度<±0．5％、功耗 |
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