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中微半导体设备制造暨研发中心启用

经济日报?? 2011年07月26日 ?? 收藏1

  中微半导体设备致力于设计及生产,用于12寸晶圆厂关键性设备的高科技公司。目前研发总部位于中国上海,并在台湾、新加坡、日本、韩国等地设有服务据点。

  中微半导体自主开发的12寸蚀刻机台Primo-DRIE,已在全球成功打进位于亚洲9家的客户的12条晶片生产线,并顺利量产了两百多万45及40纳米技术的晶圆,28纳米部分制程技术也通过了验证。其线宽均匀性已达到2纳米以下,并实现正负1%的重复性和稳定性。中微半导体设备公司作为一家国际性公司,非常愿意在台湾投资、生根,成为亚洲地区的研发、生产及制造基地,与客户及供应商一起深耕台湾半导体产业。

  中微半导体成立于 2004年,台湾分公司于2007年登记成立,并于2010年底进驻竹南科学园区。厂房建置自2011年2月开始进行,于极短时间内即完成厂内无尘室设备的运转,并于5月下旬开始了第一台十二寸蚀刻自有产品Primo-DRIE的组装测试,预计于9月中即可正式出货给台湾重要的客户。

  2011年中微半导体已投入金额约1亿元,完成台湾生产线的设立,AMEC台湾的产线不单单负责生产机台,还涵盖后端的组装、测试,也就是说从台湾工厂出货的机台,将可以直接运送到客户端作生产用,而不再需要运到第三地作其他的加工或是测试。

  未来将再投入2至3亿元建立研发中心,和客户以及本地的关键零组件厂商进行共同研究开发,生产新一代的产品(CIP,ContinuousImprovementParts),以带动国内科学园区的产值,更能藉由供应练的在地化,增加就业机会。

  中微还将于今年底举行台中分公司新址扩大及启用典礼,以提供中部客户更即时的服务以及解决方案,届时,竹南科学园区制造暨研发中心将同新竹分公司、台南分公司、台中分公司以及新竹和台南物流中心一起,组成完整的研发、制造及服务链,为台湾半导体客户提供最好的服务。


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中微半导体? 12寸晶圆? 蚀刻?

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