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飞兆正式进军MEMS市场,首款产品主打低功耗、高性能

老墨?? 2015年07月06日 ?? 收藏0
飞兆半导体于今年5月正式宣布收购Xsens 3D运动追踪产品供应商,短短数月,飞兆日前正式宣布推出首款MEMS产品——六轴MEMS惯性测量装置(IMU) FIS1100。

据飞兆市场发展总监陈俊介绍,凭借收购Xsens获得的先进算法和深度应用技术,飞兆推出了这款集成专有AttitudeEngine运动处理器以及XKF3九轴传感器融合算法的IMU。他强调,收购Xsens获得的传感器融合能力,为飞兆在MEMS传感器领域的发展铺平了道路,这也是公司持续进行技术变革创新的重要组成部分。首款IMU产品为设计人员提供了低至十分之一的处理功耗和易于实施的系统级解决方案,可广泛应用于运动、可穿戴传感器、行人导航、自主机器人、以及虚拟与增强实境等应用。

而飞兆之所以看好MEMS发展,主要因其在多个细分应用领域都有强劲的增长潜力,总量超过20亿件的产品规模有着足够的吸引力。据IHS的预测显示,组合式MEMS比传统分立式产品增速更快,这主要因为消费电子设备运动跟踪已经从游戏接口和智能手机快速扩展到很多新型移动事物互联网应用。由于设计人员期待通过运动来实现其产品的差异化,在 IMU 中集成运动处理器和完整软件解决方案能够加速产品上市时间,同时可实现诸如小型化、较长的电池寿命和运动跟踪准确度等差异化特性的最佳平衡。

顺应这些趋势,飞兆开始涉足这一市场,并推出了业界首款集成运算核心的组合式MEMS产品FIS1100。

图1:IHS就 2012-2019年消费领域分立与组合式器件的预测。
图1:IHS就 2012-2019年消费领域分立与组合式器件的预测。

陈俊表示,与传统IMU架构不同的是,AttitudeEngine在内部以高速率处理六轴惯性数据,并以与应用需要匹配的低速率输出给主机处理器,因此无需高频率中断。这样,系统处理器处于休眠模式的时间就更长,从而为客户提供更长的电池寿命,而不会牺牲功能或准确性。

图2:飞兆智能IMU与传统IMU架构的区别。
图2:飞兆智能IMU与传统IMU架构的区别。

绑定的 XKF3 高性能 9轴传感器融合算法综合了来自芯片上的陀螺仪和加速计的惯性传感器数据和来自外部磁力计的数据。传感器融合还包括背景自动校准,在准确度、一致性和流动性方面提供良好的性能。结合 XKF3 传感器融合算法后,FIS1100 成为世界上首款符合定位(四元素)规范的完整消费电子惯性测量装置,具有 ±3°的俯仰和侧滚准确度,以及 ±5°的偏航准确度。

工艺方面,FIS1100 采用了飞兆专有的MEMS 工艺,专门针对惯性传感器而设计。该工艺具有多个设计元素,能够实现良好的性能、尺寸和鲁棒性。这些包括业界领先的 60 μm 器件层,具有高纵横比、硅通孔 (TSV) 互联和垂直电极,以及具有双真空设计的独特单芯片陀螺仪和加速计。

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