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KLA-TENCOR推出 ICOS WI-2280晶圆检测系统

KLA-TENCOR?? 2012年12月14日 ?? 收藏0
KLA-TENCOR 针对 LED 及邻近市场推出 ICOS WI-2280晶圆检测系统,该系统旨在为制造商提供更大灵活性、更低持有成本和更高效率.

KLA-Tencor 公司今天宣布推出其下一代发光二极管 (LED) 图案化晶圆检测设备—— ICOS WI-2280。虽然是专为 LED 应用的缺陷检测与2D测量而设计,但是对于微机电系统 (MEMS) 以及尺寸跨度为二至八英吋的半导体晶圆,ICOS WI-2280 也具备更强的检测功能和更高的灵活性。

ICOS WI-2280 是 KLA-Tencor 建立在其市场领先的 WI-22xx 平台上的第四代 LED 晶圆检测系统,不仅更加灵活高效,而且持有成本更低。此外,该设备支持在夹具中处理全片晶圆以及在环形或薄膜框架夹具中处理已切割晶圆,以最短的设备更换时间适应多种介质。WI-2280 还拥有一个按照规则对缺陷进行分类并验证菜单程序的增强型引擎,让制造商能够在加大生产时更快地分析和改善良率,并在生产过程中改进制程控制及制程设备监控策略。

KLA-Tencor 增长与新兴市场 (GEM) 集团副总裁 Jeff Donnelly 表示:“LED 制造商日益要求改进对影响良率关键缺陷的检测与分类,通过提高检测能力,让他们能够更加迅速地采取改善措施,以改善良率。此外,对于通过更快建立生产菜单以提高产能的需求也在不断增长。ICOS WI-2280 正是针对这些关键市场需求而推出的——其最终目标就是让 LED 制造商能够实现更高的每瓦流明和每元流明能效。我们始终致力于提升我们业界领先的 ICOS 产品线,以满足 LED 制造商日益增长的需求。”

ICOS WI-2280 的 ICOS 晶圆检测表现居于市场领先地位,具有以下优势:

高度灵活的先进光学模式,采用专用影像处理——在不同的工艺背景下均可实现极高的缺陷捕捉率和菜单程序的稳定性

独特的缺陷分类——更快提供检测信息

先进的菜单优化引擎,采用已知最佳方法——允许更加迅速地验证菜单程序

更加强大的测量能力——提供更多与良率相关的可操作数据,而且不影响生产

生产线前段至后段连通性分析能力——为缺陷来源分析提供了一个单独的平台

简单易用的在线或离线重新分类引擎——检测之后能够改善良率,进而提高产能

除了 LED 应用环境之外,在微机电系统 (MEMS)、半导体、复合半导体和功率器件市场上,ICOS WI-2280 检测系统也能大显身手,用于生产线后段与切割后的出货检验或分类;生产线前段的图案化晶圆检测,以改善基准良率、再加工、异常控制或套刻精度;以及 2D 表面检测与测量。作为 KLA-Tencor 的 LED 产品系列中的一员,ICOS WI-2280 可配合 KLA-Tencor 的 Candela LED 无图案晶圆检测系统及 Klarity LED 自动分析与缺陷数据管理系统一同工作,凭借其超过 35 年的专业技术经验,为制造商提供全段检测范围。

所有设备均由 KLA-Tencor 的全球综合服务网络提供支持。

《电子设计技术》网站版权所有,谢绝转载


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