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中微体刻蚀设备首次在中国试运安装:用于32-28nm芯片加工

2012年03月20日 ?? 收藏0
  中微半导体设备有限公司(以下简称“中微”)于 SEMICON China 展会期间宣布,中微第二代等离子体刻蚀设备 Primo AD-RIE 正式装配国内技术最先进的集成电路芯片代工企业中芯国际,用于32纳米至28纳米及更先进的芯片加工。这是继去年 SEMICON West 展会期间 Primo AD-RIE 正式发布以来,中微 Primo AD-RIE 设备首次进入中国大陆客户生产线。目前,中微第一代等离子体刻蚀设备 Primo D-RIE 已在中国建立了稳固的市场地位。Primo AD-RIE 设备也已进入台湾客户的生产线。

  到目前为止,中微的刻蚀设备已进入11家客户的14条芯片生产线,客户涵盖中国大陆、台湾、新加坡和南韩等地的整合器件制造商(IDM)、晶圆代工厂、芯片封装厂等。这其中也包括中微近日发布的 TSV 硅通孔刻蚀设备 Primo TSV200E,为中微开辟了新的市场。综合来看,中微的设备均拥有生产率高、工艺性能出色、操作简便、成本竞争优势明显等优点。随着亚洲地区对半导体设备的需求日渐增长,中微不断拓展产品线使之日趋多元化,从而迈入了快速发展的轨道,2011年中微的销售额较2010年增长了两倍多。同时,为了满足企业自身发展的需求,中微位于上海的二期大楼也将竣工,届时将增加10,000平方米的生产基地。

  Primo AD-RIE 设备是中微第二代甚高频去耦合等离子体刻蚀设备,可满足多种关键生产工艺要求。继第一代已被业界广泛认可的 Primo D-RIE之后,Primo AD-RIE 采用了更多技术创新点,以解决生产复杂的22纳米至14纳米芯片所带来的挑战,同时确保芯片加工的质量。这些技术创新点包括:可切换频率的射频系统保证了刻蚀的灵活性和可重复性,更好的调谐能力确保了超精细关键尺寸的均匀度和可重复性,改良的反应室室内材料减少了工艺缺陷并降低了成本消耗。

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