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全球MEMS技术应用及其市场发展状况

LED环球在线?? 2010年07月26日 ?? 收藏0

  ??? MEMS有广泛的应用,但其封装测试成本是决定其能否有光明市场前景的重要因素

  ??? MEMS及其应用

  ??? MEMS技术是采用微制造技术,在一个公共硅片基础上整合了传感器、机械元件、致动器(actuator)与电子元件。MEMS通常会被看作是一种系统单晶片(SoC),它让智能型产品得以开发,并得以进入很多的次级市场,为包括汽车、保健、手机、生物技术、消费性产品等各领域提供解决方案。根据电子产业市场研究与信息网路的资料,MEMS的平均年增长率高于20%,并预计在2010年超过100亿美元。MEMS技术已被认为是下个世纪最有前途的技术之一。

  ??? MEMS有很多应用,并被越来越多的产品所接纳。MEMS的一些常见应用领域包括汽车、生物技术与医疗,以及消费电子产品。MEMS还用于大量声波双工器(BulkAcousticWaveduplexer)与滤波器、麦克风、MEMS自动聚焦致动器、压力感测器、MEMS微微型投影仪,甚至MEMS陀螺

仪。

  ??? MEMS的公司

  ??? 从全球看,MEMS产品是由一些美国和亚洲公司开发的,包括意法半导体(ST)、AnalogDevices公司(ADI)、惠普公司(HP)、德州仪器公司(TI),以及Memsic公司。下文将介绍各个制造商及其主要MEMS产品的现况。

  ??? 意法半导体公司是最大的MEMS制造商之一,提供单轴和多轴陀螺仪的广泛选择,各种满量程区间,适用于数位相机和数位录像机的影像稳定,以及提高游戏应用中的用户体验。ST公司还提供3轴陀螺仪,能精确地测量沿三个正交轴的角速度。另外,STM还用下一代微电机声学器件扩展了自己的产品组合。创新的MEMS麦克风采用了Omron的传感器技术,能够大幅地提高声音质量,有出色的可靠性、健壮性,同时对现有/新兴音频应用都有很好的成本效益,如手机、无线设备以及手持游戏机等。关键是,MEMS麦克风可以做得比最小的驻极体电容式麦克风(electretscondensermicrophone)还要小,而对温度变化、机械振动和电磁干扰更不敏感。

  ??? ADI公司同时提供类比与数位型的全向MEMS麦克风。最近,ADI与英飞凌科技公司商定共同发展下一代的汽车气囊安全系统。这个ADI-英飞凌合作计划将确保两家公司相应产品发展蓝图的协调一致,以及各自传感器与芯片组的互通性。这个合作也将加速先进气囊系统的发展,为安全系统供应商和OEM商提供一个完整的设计平台,从而实现一种可靠、具成本效益和易于使用的先进气囊方案。

  ??? 惠普公司最近推出一种惯性探测技术(inertialsensingtechnology),能够用来开发可当作高阶传感器使用的数位MEMS加速度计。HP预计该技术将使芯片的灵敏度比今天市场上的批量产品提高1000倍。这种传感器是以该公司已率先商业应用在其打印机墨盒的MEMS技术为基础。

  ??? 另外,TI公司拥有的数位光处理器(digitallightprocessor,DLP)技术为有光处理与光转向需求的创新应用提供了开发平台和芯片组。该公司的MEMS技术为光转向应用提供了可靠的单元件类比镜(singleelementanalogmirror),其高反射的MEMS表面最大为9平方毫米,简化了对驱动的需求,因此TI的AnalogMirrors成为柔性系统设计的一个理想选择。TI的AnalogMirrors可以用于精确定位和控制激光束,同时最大限度地减少光功率的损耗,支持各种光束旋转应用,如影像与显示、光网路、自由空间光学、物体探测以及激光印刷等。
??? 另一家着名企业Memsic公司则是推出了多种高性能加速度计。由于美国国家高速公路交通安全局(NHTSA)要求,到2012年时,美国市场上的所有汽车、卡车和大巴士都要安装车辆稳定控制系统(VehicleStabilityControl,VSC),欧盟确认它也将实施类似的要求,数百万个Memsic加速度传感器已经被部署在带有VSC的汽车和卡车上。现在,致力于满足政府VSC要求的工程团队可以采用经过完全的汽车和道路认证、兼容于串列周边界面(SPI)的传感器技术,设计出下一代的VSC系统。

  ??? 市场展望

  ??? 显然地,MEMS已


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MEMS? 传感器?

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