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(多图) 一种新的晶圆级1/f噪声测量方法

吉时利仪器公司?? 2009年08月31日 ?? 收藏0

  1.引言

  MOSFET在模拟和射频电路中得到了广泛的应用。但是,MOSFET中的低频噪声,尤其是较高频率的1/f噪声,是模拟和射频电路应用中人们关注的重要因素。此外,随着器件特征尺寸的缩小,1/f噪声会大大增加[参考文献1]。因此,在测量1/f噪声时设计一套可靠的、重复性好的、精确的测量方法和系统是非常必要的。

  过去几年,人们研究出了多种1/f噪声的测量方案和配置。例如,出现在1990年的配置方案[1]。这一配置采用SMU和两个低通滤波器为漏极和栅极提供偏压。通过一个前置放大器和一个动态信号分析仪检测漏极中的噪声。第二种配置与第一种类似,只是采用了电池提供偏压。在第三种解决方案中[2],采用了多种关键组件,例如低噪声放大器(LNA)、级联二极管和滤波器。但是,这些已有的测量配置只能测量较高频段的噪声(例如高于100Hz)。

  本文提出了一种新的可靠的晶圆级1/f噪声测量方法和相应的测试架构,能够测量低于100 Hz的低频1/f噪声。

  1.噪声模型

  关于1/f 噪声的起源,人们提出了多种理论阐述,例如Whorter提出的载流子波动理论[*],基于实验结果的Hooge的迁移率波动理论[*]以及把这两者结合的统一噪声模型[1]。2003年,Wong发表了一篇关于1/f噪声研究和最新进展的综述性论文[2]。

  尽管Hooge的实验结果在某些时候与模型一致,但是人们通常采用Whorter理论模拟MOSFET的1/f噪声。例如,常用到的模拟软件HSPICE中的噪声模型就是基于Whorter理论的。表1给出了HSPICE中的噪声模型。

表1. MOSFET中1/f噪声的HSPICE表示

MOSFET中1/f噪声的HSPICE表示

  一般而言,c可以用下列方程式来描述:
?
漏极电流的噪声频谱

  根据这一方程,可以推导出一个固定频率下的对数线性方程:
?
对数线性方程

  新的测量方法和架构的目标是提取方程式中的参数AF和KF。这两个参数可以改变功率谱中的频率提取到。

  3. 测量架构

  a) 噪声测量配置

  噪声测量配置是由吉时利的系列测量仪器构成的,包括半导体特征分析系统KI4200-SCS、可编程低电流放大器KI428-PROG和低通滤波器,以及吉时利的ACS(自动特征分析套件)软件。在构建这一配置时,特别注意要最大限度地减少外界电磁噪声。

新的测量配置方案原理图

图1. 新的测量配置方案原理图

  测试配置的原理图如图1所示,其中虚线表示ACS控制流,实线表示数据流。

  b) 测试系统设计

  安装了ACS软件的KI 4200-SCS和KI 4200-SCP2,能够完成提供输入电压,控制电流-电压的测量,测量噪声信号,控制电流放大器,和分析测试结果等工作。

  我们采用一个KI 4200 SMU和一个0.5Hz滤波器提供器件的输入偏压。由于低通滤波器能够消除所有高于0.5Hz的噪声,因此1/f噪声测量的精度大大提高了。采用一个金属盒将该滤波器屏蔽起来以避免引入外界电磁干扰,这样尽可能地使输入偏压为一直流偏压。

  采用一个探针台测量晶圆级1/f噪声。探针台、DUT(待测器件)和滤波器都用电磁屏蔽金属盒屏蔽起来,从而消除和减少了外部噪声的干扰。

  低电流放大器KI 428-PROG在1/f噪声测量中具有重要的作用。KI 428-PROG是由内部电池供电的,这样,除了能用于放大DUT的电流噪声,它还能够提供DUT输出端的偏压。DUT的输出端直接与KI 428-PROG的输入端相连。KI 428-PROG能够以2.5mV的分辨率提供范围从-5V~5V的输出电压。因此,我们可以将DUT偏置在所需的电压上,防止其受到交流线路的噪声干扰。KI 428-PROG的增益可以在103~1011的范围内进行调整。由于KI 428-PROG配置了GPIB端口,因此ACS软件可以通过IEEE-488总线对其进行编程。428-PROG结合不同的偏压能够使器件工作在不同的区域。

  KI 4200-SCP2与电流放大器的输出端相连。KI 4200-SCP2是一个带有嵌入式数字信号处理器的双通道数字存储示波器。因此在软件控制下,这种示波器能够监测、捕捉和分析输出信号。

  c) 软件控制

  ACS(自动特征分析套件)软件平台支持采用多种测试仪器的晶匣级、晶圆级和器件级半导体特征分析,支持基于半自动和全自动探针台的自动化参数测试。在安装在吉时利4200-SCS上之后,它通过GPIB接口控制4200-SCS或外部测量仪器。由于KI-428具有GPIB控制端口,因此可以实现自动化的噪声测量系统。


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晶圆级? 1/f噪声? 低通滤波器?

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