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FSI国际再次收到一家砷化镓代工厂对POLARIS? 光刻系统的订单

EDN China?? 2008年11月27日 ?? 收藏0

  FSI国际有限公司宣布再次收到POLARIS?显微光刻系统订单,该订单来自一家领先的砷化镓(GaAs)器件代工厂。这一订单代表了GaAs客户数量不断增长的趋势,他们选用POLARIS,缘于该系统的卓越性能加上公司在敏感砷化镓底材处理方面的15年经验。

  “随着宽带无线和有线通信市场器件制造商数量的快速增长,我们感受到他们对POLARIS系统兴趣的不断提升,”FSI董事长兼首席执行官Don Mitchell说道。“POLARIS产品的灵活性允许我们的客户在同一系统上处理多种尺寸的GaAs和氮化镓(GaN)底材,而无需更换硬件或软件。这种可同步处理多种晶圆尺寸的能力在不影响工艺性能的同时,将灵活性提高到更高水平。”

  预计宽带无线和有线通信器件供应商的订单将有所增长,FSI将重点放在进一步扩展这一重要市场。

  FSI POLARIS显微光刻系统可为尺寸在100mm 和300mm之间的晶圆提供附着剂和光阻涂布、烘干、冷却和工艺开发。POLARIS 系统以其庞大的安装量,为包括薄膜磁头、生医设备以及GaAs在内的多种应用和行业提供服务。此外,公司推出的支持服务包括了产品及工艺的提升,从而延长已安装的FSI设备的使用寿命,使全世界客户的资本投资获得更高的回报。


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光刻系统? POLARIS? 砷化镓? GaAs?

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