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Rudolph推出透明薄膜测量系统

EDN China?? 2006年06月08日 ?? 收藏0

?????? 据Semiconductor Reporter网站报道,Rudolph技术公司日前推出其S3000(300毫米)及S2000(200毫米)透明薄膜检测系统。该系统基于椭偏光检测原理,适用于大部分透明薄膜检测。

?????? 据该公司表示,该系统将为薄膜工艺、CMP工艺以及光刻工艺提供高产出、低成本的薄膜测量。

?????? 该系统集成了Rudolph公司第五代椭偏光检测系统,以及长期稳定的激光光源。该系统提供可选的深紫外光和可见光两种方案。所有这些组件集成在Rudolph的Vanguard平台上。


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