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什么是MEMS
MEMS即微机电系统(英语:Microelectromechanical Systems,缩写为MEMS)是将微电子技术与机械工程融合到一起的一种工业技术,它的操作范围在微米范围内。比它更小的,在纳米范围的类似的技术被称为纳机电系统。微机电系统是微米大小的机械系统,其中也包括不同形状的三维平板印刷产生的系统。这些系统的大小一般在微米到毫米之间。在这个大小范围中日常的物理经验往往不适用。比如由于微机电系统的面积对体积比比一般日常生活中的机械系统要大得多,其表面现象如静电、润湿等比体积现象如惯性或热容量等要重要。它们一般是由类似于生产半导体的技术如表面微加工、体型微加工等技术制造的。其中包括更改的硅加工方法如压延、电镀、湿蚀刻、干蚀刻、电火花加工等等。
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发表日期 标题 博客 阅读数 评论数
2016-04-27 压力传感器在液位测量中的应用
( mems压力传感器 ? 压力传感器 )
MEMS压力传感器 18 0
2016-04-27 自动补偿静压的压力传感器
( mems压力传感器 ? 压力传感器 )
MEMS压力传感器 19 0
2016-04-27 洗衣机用的压力传感器的选择
( mems压力传感器 ? 压力传感器 )
MEMS压力传感器 23 0
2016-04-27 压力传感器在地震水位观测中的应用
( mems压力传感器 ? 压力传感器 )
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2016-03-09 气体传感器会不会成为手机的标配--做一个市场小调查?
( mems ? 手机 ? 气体传感器 )
天天咖啡-传感器技术分享 59 1
2015-11-20 (多图)基于DSP的室内惯性导航系统设计
( DSP ? MEMS ? WIFI ? 惯性导航 )
喔喔 88 0
2015-06-18 谷歌的智能隐形眼镜设计的更多细节在这里!
( mems传感器 ? 智能隐形眼镜 ? 谷歌 )
yunno 173 1
2014-12-07 基于微加速度传感器的无线鼠标的设计
( MEMS ? 微加速度传感器 ? 微机电系统 ? 无线鼠标 )
Helix_EDA 196 0
2016-03-11 物联网形势大好,传感器前景可观
( mems ? 传感器 ? 发展 ? 物联网 ? 电子 )
友进 80 0
2014-12-11 迎向物联网设计浪潮 MEMS时钟元件进驻SoC
( a ? soc ? 物联网 ? 系统 ? 设计 )
友进 84 0
2015-06-11 上市企业占国内MEMS传感器公司44.4% 未来传感器用处更广
( 传感器 ? 可穿戴 ? 可穿戴设备 ? 智能 ? 设备 )
友进 757 0
2014-08-03 穿戴式装置中的模拟器件、MEMS和传感器
( MEMS ? 传感器 ? 模拟器件 ? 穿戴式 ? 蓝牙 )
mati 134 0
2014-05-20 基于MEMS传感器的胎儿心率检测仪
( MEMS ? SCA600C13H1G ? 加速度传感器 ? 胎儿心率 )
10000小时 282 0
2015-04-24 【研究资料分享】iNEMI:2015路线图(IoT、医疗、汽车、MEMS...)
( mems ? 医疗电子 ? 汽车电子 ? 电子制造 )
敏敏的产业即时贴 1631 1
2014-02-20 未来几年MEMS传感器或将强劲增长
( 压力传感器,MEMS传感器,电子皮肤 ? 可穿戴设备 )
艳阳高照 163 0
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